台積電加入ASML投資專案

雪席

(中央社記者張建中新竹5日電)晶圓代工廠台積電今天宣布，加入半導體設備廠艾司摩爾(ASML)客戶聯合投資專案，盼加速極紫外光(EUV)微影技術與18吋晶圓微影設備開發及量產。                               

為讓關鍵微影技術發展順利，且加速進行，荷蘭半導體設備廠ASML於7月9日宣布展開客戶聯合投資專案，邀請英特爾(Intel)、台積電及三星(Samsung)3大廠參加。

英特爾率先決定參與ASML客戶聯合投資專案，台積電董事長暨總執行長張忠謀於7月法人說明會後記者會時曾表示，台積電並沒有感到壓力，不會被迫投資ASML。

台積電當時仍在審慎評估中，張忠謀說，台積電若決定投資ASML，將主要是基於希望加速EUV發展考量。

經過近1個月評估，台積電今天宣布，加入ASML客戶聯合投資專案；根據協議，台積電將投資ASML達8.38億歐元，取得ASML約5%股權，未來5年並將投入2.76億歐元，支持ASML的研發計畫。

台積電執行副總經理暨共同營運長蔣尚義表示，如何有效控制日益攀升的晶圓製造成本，是縮小積體電路尺寸面臨的最大挑戰之一。

蔣尚義說，台積電挹注ASML研發經費，將確保並加快EUV微影技術開發，同時提高既有光學微影工具效能，促進18吋晶圓製造技術的快速發展，將有助半導體業控制晶圓成本。